WD500-1500mm 折反式显微物镜

   真空-超长工作距显微物镜, 是一款用于无法在近距离观测的微小视场,比如高温、燃烧、真空、辐射、放电、焊接、容弹及风洞等环境,具有极小的视场和极高的分辨率。

   通常应用于以下领域:

1、二维材料与低维器件科研(超高真空 UHV)

  • 石墨烯、MoS₂、黑磷等空气敏感材料:真空机械剥离、定点转移、范德华异质结制备,原位观察剥离形貌、对准对位、气泡缺陷,规避氧气水汽对样品的破坏。
  • STM/AFM、ARPES 设备辅助定位:作为前置光学导航,快速搜寻样品待测区域,减少电子束扫描时间,提升表征效率。
  • 单原子、冷原子囚禁实验:透过真空法兰观察窗远距离对原子团成像,适配大口径不锈钢真空腔体。

2、半导体与真空工艺装备

  • MBE 分子束外延、CVD 气相沉积腔体:实时原位监测薄膜生长、晶畴演化、表面缺陷,不干扰蒸镀源、加热基座运动。
  • 晶圆真空键合、真空封装工艺:观测对位、压合过程中的微裂纹、气泡、对位偏差。
  • 真空探针台:大工作距离避让探针组件,观测芯片、MEMS 器件的微结构、探针接触状态。

3、材料科学‑极端条件原位实验

  • 真空高温力学实验:真空环境下金属、合金、陶瓷样品拉伸、疲劳、热循环,观测裂纹萌生扩展、相变、蠕变形变,样品可至上千摄氏度。
  • 真空热解、烧结实验:观察粉体、涂层在真空热处理下的形貌演变。
  • 离子束、电子束辐照实验:搭配辐照腔体,原位记录材料受辐照后的表面形貌变化。

4、核工业与特种辐照环境

  • 核材料真空辐照腔体:对辐照后样品做真空原位显微观测,避免放射性样品接触大气;部分机型同时兼容耐辐射需求,用于堆内模拟实验腔观测。
  • 真空‑辐照耦合实验站:远距离光路隔离,降低辐射对光学镜头的损伤。

5、航空航天与真空模拟设备

  • 空间环境模拟舱:模拟太空高真空、低温工况,观测航天构件、涂层、润滑材料在真空下的磨损、出气、表面形貌变化。
  • 真空微装配:真空腔内精密零部件装配、微焊接过程视觉监控,给机械手、工装预留充足运动空间。

6、聚变、强激光大科学装置

  • 靶室真空环境:对靶材、组件做远距离光学显微诊断,大工作距离避开靶场复杂机械结构,用于靶件对位、表面缺陷检查。

7、其他小众场景

  1. 真空器件生产检测:真空管、特种光源内部灯丝、电极形貌检测,透过腔体窗口成像,无需破坏器件外壳。
  2. 低温真空系统(液氦 / 液氮温区):避让低温冷台结构,对低温样品做显微成像。

其主要特点:

1 近红外光谱设计,工作波段覆盖400-700nm、900nm-1700nm、400-1700nm;
2 工作距离550-1500mm,利于观测远距离的物体;    
3 最大像面18mmm,覆盖1.1″以内的芯片。    
项目规格
CCD1.1"(18mm)
有效焦距154-331mm
接口C-Mount
光圈范围F22
对焦范围550-1500mm
视场角 0.44°×0.35°×0.26°(@550mm)
视场角 0.5°×0.4°× 0.3°(@1000mm)
视场角 0.52°×0.42°× 0.31°(@1500mm)
对象大小6.4×5.2×3㎜(@550mm)
对象大小11×8.6×6.4㎜(@1000mm)
对象大小16×12.6×9.5㎜(@1500mm)
后焦距(in air)60
操作方式(对焦)手动
操作方式(光圈)固定
畸变率 0.02%@y=9㎜
滤镜尺寸M118×0.5㎜
镜头尺寸(宽×长)125×412mm
重量3500g
工作温度-10℃~+50℃
工作波长400-700nm、900nm-1700nm、400-1700nm
入瞳距离306mm
入瞳直径85mm
出瞳距离-448mm
出瞳直径16mm
光学总长403mm

不同距离下的放大倍率和NA

工作距离倍率NA物方分辨率
0.1/线对
物方分辨率
um
5502.700.05137.7 3.6
6002.560.047133.1 3.8
7002.250.043121.5 4.1
8002.000.04110.6 4.5
9001.810.036
102.3 4.9
10001.640.03494.3 5.3
11001.500.03287.8 5.7
12001.380.02982.1 6.1
13001.280.02876.8 6.5
14001.190.02672.0 6.9
15001.11
0.02567.7 7.4

 

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