WD600-2000mm 高分辨率折反式显微物镜

真空-超长工作距显微物镜, 是一款用于无法在近距离观测的微小视场,比如高温、燃烧、真空、辐射、放电、焊接、容弹及风洞等环境,具有极小的视场和极高的分辨率。

   通常应用于以下领域:

1、二维材料与低维器件科研(超高真空 UHV)

  • 石墨烯、MoS₂、黑磷等空气敏感材料:真空机械剥离、定点转移、范德华异质结制备,原位观察剥离形貌、对准对位、气泡缺陷,规避氧气水汽对样品的破坏。
  • STM/AFM、ARPES 设备辅助定位:作为前置光学导航,快速搜寻样品待测区域,减少电子束扫描时间,提升表征效率。
  • 单原子、冷原子囚禁实验:透过真空法兰观察窗远距离对原子团成像,适配大口径不锈钢真空腔体。

2、半导体与真空工艺装备

  • MBE 分子束外延、CVD 气相沉积腔体:实时原位监测薄膜生长、晶畴演化、表面缺陷,不干扰蒸镀源、加热基座运动。
  • 晶圆真空键合、真空封装工艺:观测对位、压合过程中的微裂纹、气泡、对位偏差。
  • 真空探针台:大工作距离避让探针组件,观测芯片、MEMS 器件的微结构、探针接触状态。

3、材料科学‑极端条件原位实验

  • 真空高温力学实验:真空环境下金属、合金、陶瓷样品拉伸、疲劳、热循环,观测裂纹萌生扩展、相变、蠕变形变,样品可至上千摄氏度。
  • 真空热解、烧结实验:观察粉体、涂层在真空热处理下的形貌演变。
  • 离子束、电子束辐照实验:搭配辐照腔体,原位记录材料受辐照后的表面形貌变化。

4、核工业与特种辐照环境

  • 核材料真空辐照腔体:对辐照后样品做真空原位显微观测,避免放射性样品接触大气;部分机型同时兼容耐辐射需求,用于堆内模拟实验腔观测。
  • 真空‑辐照耦合实验站:远距离光路隔离,降低辐射对光学镜头的损伤。

5、航空航天与真空模拟设备

  • 空间环境模拟舱:模拟太空高真空、低温工况,观测航天构件、涂层、润滑材料在真空下的磨损、出气、表面形貌变化。
  • 真空微装配:真空腔内精密零部件装配、微焊接过程视觉监控,给机械手、工装预留充足运动空间。

6、聚变、强激光大科学装置

  • 靶室真空环境:对靶材、组件做远距离光学显微诊断,大工作距离避开靶场复杂机械结构,用于靶件对位、表面缺陷检查。
1 近红外光谱设计,工作波段覆盖400-700nm、900nm-1700nm、400-1700nm;
2 工作距离600-2000mm,利于观测远距离的物体;    
3 最大像面18mmm,覆盖1.1″以内的芯片。

4        高分辨率

No.项目规格
1CCD1.1"(18mm)
2有效焦距334-550mm
3接口C-Mount
4光圈范围F12.8-16
5对焦范围600-2000mm
6后焦距(in air)30
7对焦手动/电动
8光圈固定
9畸变 0.02%@y=9㎜
10镜头尺寸(宽×长)167x520 mm
11重量7.5kg
12工作温度-10℃~+50℃
13工作波430-680nm 900-1700nm 430-1700nm
14光学总长520mm

不同位置的倍率和分辨率

工作距离倍率NA物方分辨率
0.1/线对
物方分辨率
um
6002.140.061175.5 2.8
7001.840.056156.4 3.2
8001.610.052141.7 3.5
9001.410.048132.5 3.8
10001.260.045124.7 4.0
11001.130.042115.3 4.3
12001.030.039109.2 4.6
13000.950.037104.5 4.8
14000.880.035100.3 5.0
15000.820.03396.8 5.2
20000.60.02670.8 7.1

 

 

 

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